知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:在做光刻时,光刻胶很容易脱落,有什么好的改进措施吗?
为什么光刻胶会脱落?
脱落主要是因为光刻胶与晶圆的粘附性不佳,而导致粘附性不佳的原因有很多,比如晶圆的材质原因,晶圆表面过于光滑,晶圆表面残留水分,光刻胶过厚内应力过大等。这个时候,在晶圆表面增加一个增粘步骤是很有必要的。
什么材质的晶圆需要增粘剂?
硅衬底与光刻胶的粘附性较好,而氧化硅,蓝宝石,砷化镓,Au,Pt等与光刻胶的粘附性较差。以氧化硅为例,氧化硅容易吸水,具有亲水性,它与于非极性的光刻胶结合力很差,需要进行增粘处理。
Ti Prime是什么?
一种有机钛化合物增粘剂,正式匀胶前先旋涂Ti Prime,再进行烘烤,其将以亚单层的状态吸附在晶圆表面。可有效改善光刻胶在硅或玻璃等基材上的附着力。
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(来源:与非网)